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  • NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

    NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

        特长
      1. NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。


      2. 低噪音、低振动


      3. 优良的耐腐蚀性


      4. 标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。


      5. 选购件


      6. 可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。



      7. 用途
      8. •  活性气体(CVD、刻蚀等)。


      9. •  排出非活性气体(溅射镀膜、   蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。


      10. •  用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)


      11. •  作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。


      12. •  冷冻干燥等水蒸气排气。


  • 技术参数

  • 外形尺寸图

  • 抽气速率曲线


* 1  极限压力是氮气(密封气体)在5.0 SLM时的值。
* 2  无结露。
* 3  用调节阀所调整的压力表的值。
* 4  氮气(密封气体)流量5.0 SLM是固定值。


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